萬級無塵車間的凈化要求

近十多年來，科學(xué)技術(shù)日新月異，對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，同時對無塵凈化技術(shù)的設(shè)計和發(fā)展提出了更高的要求。萬級無塵車間在半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造等行業(yè)非常多見。電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計是一項綜合的技術(shù)，只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計特點，做到設(shè)計合理，才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低，提高生產(chǎn)效率。?

電子制造業(yè)萬級無塵車間的潔凈度等級要求高，風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。

萬級無塵車間參數(shù)要求換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次；100≥500次.壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa 平均風(fēng)速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度冬季＞16℃；夏季＜26℃；波動±2℃。溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

萬級無塵車間的凈化要求主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，來實現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，拌有回流或渦流，不同等級的凈化車間，主要是依靠單位時間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實現(xiàn)。